차근차근 디스플레이
TFT 구조 비교 (Staggered vs Coplanar, Top gate vs Bottom gate)
동동파워의 인생성공
2021. 12. 31. 10:45
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TFT(Thin Film Transistor, 박막 필름 트랜지스터) 구조는 Staggered 구조와 Coplanar 구조로 나눌 수 있으며, 게이트 전극의 위치에 따라 Top-gate와 Bottom-gate로 구분된다.
Staggered 구조
반도체 채널과 소스, 드레인이 마주 보고 있는 경우를 말한다.
Coplanar 구조
반도체 채널, 소스, 드레인이 동일 평면 상에 존재하는 구조를 말한다.
Top-gate 구조
반도체 채널을 보호해야할 때 Top-gate 구조를 선호한다.
ex) Poly-Si TFT에서 Poly-Si을 만들기 위해 고온 공정(ELA, 450도)을 진행할 때 다른 부위들이 영향을 받지 않도록 Poly-Si을 먼저 증착한다. -> Coplanar top-gate 구조
Bottom-gate 구조
반도체 채널을 드러내어 특성을 조절할 때는 Bottom-gate 구조를 선호한다.
ex) a-Si:H TFT에서 채널 물질인 a-Si이 빛에 상당히 민감하므로, LCD를 제작할 때 backlight로부터 보호될 필요가 있다. 따라서 a-Si:H TFT은 Staggered bottom-gate 구조로 제작된다.
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